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泵的抽速定義為在一定的吸入壓力下，單位時(shí)間通過泵口被抽除的氣體的體積。一個(gè)完正的真空系統(tǒng)，不論是為了何種應(yīng)用，都應(yīng)有一個(gè)需要抽成真空的容器或室體，一套真空機(jī)組，也可能是一臺(tái)真空泵，還有連接管道、閥門、冷阱等。而管道、閥門、冷阱等作為組成真空系統(tǒng)的部件，對(duì)氣體的流動(dòng)都有一定的阻礙作用。反過來(lái)說(shuō)它們對(duì)氣體的流動(dòng)都有一定的通導(dǎo)能力，這種能力稱之為流導(dǎo)。這在氣體的流動(dòng)中是一個(gè)很重要的概念，它的定義為單位壓差下的流量。氣體的自然流動(dòng)總是從高壓流向低壓，上述任一部件，當(dāng)兩端的壓力分別為P1、P2時(shí)，而流過的氣體量為Q，則該部件流導(dǎo) U=Q/(P1-P2) 不同的真空系統(tǒng)部件的流導(dǎo)可以通過計(jì)算、模擬、測(cè)量等方法確定，它除了與幾何形狀有關(guān)外，還與氣體的流動(dòng)狀態(tài)有關(guān)。不同部件的流導(dǎo)是可以進(jìn)行串并聯(lián)的。 真空泵是為了抽除真空容器內(nèi)的氣體，但往往泵的抽氣口不能直接與被抽容器相連接，由于工藝上的需要或是降低有油蒸汽污染的真空機(jī)組的污染程度，必須通過冷阱、閥門、管道才能與被抽氣容器連接，由于每種真空部件都有確定的流導(dǎo)，所以可以說(shuō)泵必須通過一定的流導(dǎo)才能與被抽容器連接，如圖所示，圖中泵與真空室之間的連接管道可以包括冷阱和閥門等。假定泵與真空室之間的流導(dǎo)為U，則泵必須通過流導(dǎo)U才能對(duì)真空室抽氣，其抽氣能力要受到限制，此時(shí)對(duì)容器的抽氣作用真正有意義的應(yīng)是真空室抽氣口處的有效抽速S0。如泵的標(biāo)稱抽速為S，那么根據(jù)氣體作穩(wěn)定流動(dòng)時(shí)流量守恒的定律可以導(dǎo)出S0，S和U之間滿足的關(guān)系。上式稱之為真空基本方程，它是真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中所依據(jù)的基本規(guī)律。根據(jù)真空基本方程，可從數(shù)學(xué)上得到兩個(gè)極端的結(jié)果，即當(dāng)流導(dǎo)U非常大時(shí)，真空室的有效抽速S0可以近似等于泵的抽速S；當(dāng)泵的抽速S非常大時(shí)，或者流導(dǎo)U非常小時(shí)，真空室的有效抽速S0近似等于流導(dǎo)U。上述結(jié)果從物理上可能更易理解，從真空室抽氣口抽除的氣體必須經(jīng)過流導(dǎo)U（即管道、閥門等）才能被真空泵抽除，只不過被抽除的氣體從真空室抽氣口向泵口運(yùn)動(dòng)過程是從高壓向低壓的流動(dòng)，而從泵口被抽除是從低壓向高壓的基于某種抽氣原理的強(qiáng)制流動(dòng)。真空機(jī)組如流導(dǎo)U非常大，即通過它的氣體量不受限制，那么泵的抽氣能力就決定于自身的抽速大小，這與泵口直接與真空室相連接是一樣的。但如果泵的抽速非常大，這也就是相對(duì)于泵的抽速流導(dǎo)U非常小，此時(shí)泵的實(shí)際抽氣能力并不決定于它的抽速大小而決定于氣體通過流導(dǎo)U的能力，流導(dǎo)的數(shù)值恰為泵的有效抽速S0。為了盡量發(fā)揮泵的抽氣能力，最大限度的加大流導(dǎo)U是最有效的方法，但往往難于實(shí)現(xiàn)。而一味增大泵的抽速更不切實(shí)際。所以采用晝量大的流導(dǎo)和選用晝量大的抽速的泵就非常值得權(quán)衡。從真空基本方程可以知道，有效抽速S0隨S或U都是單調(diào)遞增的函數(shù)。真空機(jī)組真空基本方程描述的內(nèi)容并不深?yuàn)W，但也沒有淺顯到可以作為每個(gè)人的常識(shí)，所以在不少的應(yīng)用領(lǐng)域，用戶往往忽略流導(dǎo)對(duì)泵抽速的限制，而造成真空技術(shù)應(yīng)用的效果大受影響。對(duì)于一個(gè)沒有漏氣，也沒有放氣的真空系統(tǒng)如真空室體積為V，真空室有效抽速為S0，則隨著抽氣的過程，真空室內(nèi)壓力隨時(shí)間遵從如下的變化規(guī)律。其中P0為t=0時(shí)的壓力，即起始?jí)毫�，t=V/S0稱為時(shí)間常數(shù)。以上規(guī)律揭示，每經(jīng)過約的時(shí)間，真空室內(nèi)壓力降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，顯然t越小，壓力下降越快，當(dāng)V一定時(shí)，有效抽速S0越大，才能越小。